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1、制冷壓縮機內無敲擊聲，壓縮機正常運轉，膨脹閥開度調節合適，運轉中只有壓縮機吸、排氣聲，不產生敲擊或其它不正常聲響。
2、壓縮機各摩擦部位溫度正常，無激熱現象。壓縮機各摩擦部位、軸承與軸頸接觸良好，潤滑正常，不產生超過環境溫度。
3、曲軸箱油面處在正常位置，一般壓縮機曲軸箱正常油面應在視油鏡中間位置。如果是兩個油鏡，則正常油面應在上油鏡的水平線上，但低不得低于下油鏡水平線或見不到油位。另外，在壓縮機運轉過程中滑油不應起泡。
4、油壓過低會造成各摩部件表面的干摩或卸載一能量調節機構動作遲緩；油壓過高不但易損壞油泵軸、鍵及傳動件，而且會使各摩擦面之間進油過多，增加摩擦阻力。。
5、壓縮機無結霜現象，制冷系統工作過程中，壓縮機回氣管路結霜應屬正常現象，但當操作不良或膨脹閥調整不當時，往往會造成壓縮機氣缸壁和機體結霜，嚴重時可能造成壓縮機“液擊”。
6、光刻機冷卻循環水裝置制冷系統各輔助設備處于正常工作狀態，膨脹閥開度適當；各風機及電機運轉平穩；水循環系統的水泵運轉正常，無異常聲響；水循環管路及各連接處無嚴重漏水現象；更重要的是制冷系統所有設備連接管路不允許有制冷劑泄漏現象。
7、光刻機冷卻循環水裝置制冷系統所有壓力及溫度指示正確，壓力表、溫度表指針穩定；高、低油壓控制器調整適當，在所要求之壓力數值范圍內能起到自動控制和保護作用。
8、制冷系統正常工作時，其冷凝壓力與冷凝溫度，蒸發壓力與蒸發溫度呈對應關系。
